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N2 FOUP

「N2 FOUP」文章包含有:「FoupStocker」、「LCS與N2P機台整合」、「N2PurgeFunction」、「N2Purge吹淨系統」、「在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2Purge」、「產品介紹」、「高階製程微汙染防治傳載系統」、「鼎京科技有限公司SynergyTek.Co.」

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Foup Stocker
Foup Stocker

https://www.mirle.com.tw

目前業界大都採用人員操作將FOUP搬運至N2櫃進行充填,佔用了多數人力來執行充填作業,盟立N2 FOUP Stocker系統除了整合FOUP進行N2充填,更可經由每次的N2充填狀況,定義出 ...

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LCS 與N2P機台整合
LCS 與N2P機台整合

https://www.mirle.com.tw

N2 Purge(N2P)設備是一種運用在半導廠內的設備機台,FOUP載具填充惰性氣體(氮氣N2)以降低晶圓氧化及保持乾燥狀態穩定FOUP內環境。 盟立N2 FOUP Stocker系統整合N2P ...

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N2 Purge Function
N2 Purge Function

https://www.rorze.com.tw

高濃度沖吹(O2<100ppm)可在2分鐘以內可達到高速。 · 次世代半導體的高潔淨度,當開關內扉時採用非接觸密封結構(迷宮式或空氣密封)可抑制Foup內部微塵或使用RORZE自吹板來 ...

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N2 Purge 吹淨系統
N2 Purge 吹淨系統

https://www.festo.com

... FOUP、OHT 和STB 等各種晶圓輸送和儲存場合的「N2 Purge 吹淨系統」自動化解決方案,為晶片製造吹走阻礙,還晶片製造一個更安「淨」的生產環境。 N2 Purge 吹淨系統 ...

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在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge
在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge

https://www.bronkhorst.com

在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge. 前開式晶圓傳送盒(FOUP)卸載模塊的功能是在等待下一個工藝步驟的同時暫存晶圓。由於製造環境的清潔度是影響產品成品率的 ...

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產品介紹
產品介紹

https://www.spti.com.tw

Standalone-N2. 符合SECS/GEM 標準通信規範,具有FOUP 自動偵測充氣,防氮氣洩漏警告,充氣時間與氮氣流量可程式化,自動判別異常警告與全機數位化等功能。

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高階製程微汙染防治傳載系統
高階製程微汙染防治傳載系統

https://www.brillian.com.tw

改造原有之300mm Loadport 盤面,加裝N2/XCDA充氣淨化功能。 · 支持各類型FOUP,可根據不同載具設計Loadport盤面。 · 系統獨立,本體安置於Loadport下方,不佔無塵室空間。

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鼎京科技有限公司Synergy Tek. Co.
鼎京科技有限公司Synergy Tek. Co.

https://www.synergy-tech.com.t

實驗室中有多廠牌之Load Port與FOUP供模擬,教育訓練與產品性能測試。 系統整合服務,解決機台設備商自帶N2 Purge之Load Port無法上傳流量及濕度的問題。 產品照片 ...